厚木商工会議所The Atsugi Chamber of Commerce and Industry

ナノファブスクエアin海老名について

当研究所では、慶應義塾大学、早稲田大学、東京工業大学、東京大学からなる4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムと、川崎市とで連携し、産学連携による新しい技術や産業の創出を図るため、海老名本部の先端機器による「ナノファブスクエアin海老名」講習・実習会を開催します。

◆第3回　シリコン酸化
シリコン表面に酸化膜を形成し、フォトリソグラフィでシリコンマイクロ流路の酸化膜マスクパターンを作製します。Ｃｒマスクは電子線描画で作成したものを使用します。

日　　程：10月15日（木）　13：30～16：30
受 講 料：11,000円
募集締切：10月8日（木）
詳細申込：https://www.kistec.jp/learn/sme/newt/nano3/

◆第4回　ナノパターン形成
シリコン上のレジストに電子線描画でナノパターンを形成して、レジストパターン（ハーフピッチ200nｍ）を観察し、電子線描画技術の基本を実習します。

日　　程：10月22日（木）　13：30～16：30
受 講 料：11,000円
募集締切：10月15日（木）
詳細申込：https://www.kistec.jp/learn/sme/newt/nano4/

<問い合わせ>
（地独）神奈川県立産業技術総合研究所（KISTEC）
人材育成部　教育研修課　産業人材研修グループ
TEL：046-236-1500　FAX：046-236-1527　E-mail：sm_sangyoujinzai@kistec.jp